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RTS-4單晶硅半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)?測(cè)試儀
RTS-4單晶硅半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測(cè)試儀
RTS-4型四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，專用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
儀器采用了*新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
RTS-4型四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序，通過(guò)此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來(lái)。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
RTS-4單晶硅半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測(cè)試儀
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測(cè)量范圍 |
電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展)； 方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展)； 電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm； 電阻：0.0001～2000Ω.cm； |
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可測(cè)晶片直徑 |
140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái))； |
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恒流源 |
電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) |
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數(shù)字電壓表 |
量程及表示形式000.00～199.99 mV； |
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四探針探頭基本指標(biāo) |
間距：1±0.01mm； |
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四探針探頭應(yīng)用參數(shù) |
(見(jiàn)探頭附帶的合格證) |
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模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差 |
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
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整機(jī)測(cè)量*大相對(duì)誤差 |
(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試) ≤±5％ |
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整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 |
≤5％ |
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測(cè)試模式 |
可連接電腦測(cè)試也可不連接電腦測(cè)試。 |
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軟件功能（選配） |
軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)*大值、*小值、平均值、*大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。 |
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計(jì)算機(jī)通訊接口 |
并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5 秒。 |
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標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 |
溫度：23±2℃； |
RTS-4單晶硅半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測(cè)試儀
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序號(hào) |
品名 |
單位 |
配置 |
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1 |
RTS-4四探針測(cè)試儀 |
套 |
四探針測(cè)試儀主機(jī)一臺(tái)、S-2B手動(dòng)測(cè)試臺(tái)一臺(tái)、四探針探頭一個(gè) |
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2 |
RTS-4四探針測(cè)試儀 |
套 |
四探針測(cè)試儀主機(jī)一臺(tái)、S-2B手動(dòng)測(cè)試臺(tái)一臺(tái)、四探針探頭一個(gè)、測(cè)試軟件(含測(cè)控模塊) |
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3 |
RTS-4四探針測(cè)試儀 |
套 |
四探針測(cè)試儀主機(jī)一臺(tái)、S-2B手動(dòng)測(cè)試臺(tái)一臺(tái)、四探針探頭一個(gè)、測(cè)試軟件(含測(cè)控模塊)、臺(tái)式電腦一臺(tái) |
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3 |
RTS-4四探針測(cè)試儀 |
套 |
四探針測(cè)試儀主機(jī)一臺(tái)、DJ-2電動(dòng)測(cè)試臺(tái)一臺(tái)、四探針探頭一個(gè) |
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4 |
RTS-4四探針測(cè)試儀 |
套 |
四探針測(cè)試儀主機(jī)一臺(tái)、DJ-2電動(dòng)測(cè)試臺(tái)一臺(tái)、四探針探頭一個(gè)、測(cè)試軟件（含測(cè)試模塊） |
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4 |
RTS-4四探針測(cè)試儀 |
套 |
四探針測(cè)試儀主機(jī)一臺(tái)、DJ-2電動(dòng)測(cè)試臺(tái)一臺(tái)、四探針探頭一個(gè)、測(cè)試軟件（含測(cè)試模塊）、臺(tái)式電腦一臺(tái) |