日本HORIBA S49 32系列氣體質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器（流量計）
特點及應(yīng)用領(lǐng)域
氣體質(zhì)量流量控制器（流量計）（Mass gas flow controller(meter)縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制的設(shè)備。

S49 系列質(zhì)量流量控制器（流量計）特點：
*閥體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON®、聚四氟乙烯等。線路板、閥體、彈簧等為重要零部件，均執(zhí)行嚴格的入廠標準
*適用于各種腐蝕性氣體
*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準
*高精度
*重復(fù)性好
*軟啟動、穩(wěn)定可靠
*低壓降
*工作壓力范圍寬（可以在高壓或真空條件下工作）
*便于與計算機連接實現(xiàn)自動控制

S49 系列質(zhì)量流量控制器(流量計)主要應(yīng)用領(lǐng)域：
*半導體制造行業(yè)的氣體流量控制
*分析儀器設(shè)備的氣體計量與控制
*各種形式的真空鍍膜設(shè)備
*環(huán)境檢測與分析設(shè)備
*化工、石化、食品行業(yè)氣體流量監(jiān)測和控制
*特種材料表面處理裝置與燃燒控制
*混氣配氣系統(tǒng)和泄漏探測系統(tǒng)等

S49 系列質(zhì)量流量控制器(流量計)
質(zhì)量流量計主要**測量氣體流量，質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計的功能還具備自動控制氣體流量的功能。
執(zhí)行 Q/CYHMT0001-2017 企業(yè)標準

日本HORIBA S49 32系列氣體質(zhì)量流量控制器主要技術(shù)指標
質(zhì)量流量控制器(流量計)出廠通常用氮氣（N2）標定。
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為：標準狀態(tài) mL/min（毫升/分鐘) （SCCM 行業(yè)標準）
標準狀態(tài) L/min （升/分鐘） （SLM行業(yè)標準）
標準狀態(tài)為：溫度----273.15K（0℃）
氣壓----101325Pa（1atm）
F.S.(Full Scale)：表示滿量程值